13-я Международная выставка вакуумного оборудования
24 – 26 апреля 2018 Россия, Москва, КВЦ «Сокольники», павильон 2

Международная научно-техническая конференция «Вакуумная техника, материалы и технология»

Уважаемые коллеги!

 

Приглашаем Вас принять участие в международной научно-технической конференции «Вакуумная техника, материалы и технология», которая будет проходить в рамках международной выставки «VacuumTechExpo 2018»

 

24 – 26 апреля 2018 г. в Москве, КВЦ «Сокольники».

24 апреля.  10.00

  1. Вступительное слово Президента РНТВО им. академика С.А. Векшинского С.Б. Нестерова.
  2. Акционерному обществу «Вакууммаш» 75 лет. Очерки истории. Часть 1. Е.Н.Капустин. АО «Вакууммаш», Казань.

 
24 апреля. 10:30
Секция 1. Вакуумные технологии и оборудование

  1. Разработка «большого» отечественного безмасляного спирального вакуумного насоса с быстротой действия 60 м3/ч. А.В.Бурмистров, С.И.Саликеев, А.В.Тюрин, А.А.Райков, *Е.Н.Капустин. Казанский национальный исследовательский технологический университет, Казань, * АО «Вакууммаш», Казань.
  2. Группа установок для глубокого травления кремния, мелкощелевой изоляции, удаления фоторезиста и атомно-слоевого осаждения. В.В.Одиноков, В.М.Долгополов, П.А.Иракин, В.В.Панин. АО “НИИ точного машиностроения” Москва, Зеленоград.
  3. Обеспечение квалифицированного цикла активной пайки металлокерамических узлов твердыми припоями в инновационной высоковакуумной камерной электропечи модели снвэ-2.4.2/13-иоп-ниттин. В.М.Шулаев, Д.А.Оковитый, М.Б.Аскретков, *Ю.К.Грузевич, *Ю.Н.Гордиенко, *Л.М.Балясный, *Н.М.Недосека. ООО «НПП «НИТТИН», Белгород, *ОАО «НПО Геофизика-НВ», Москва.
  4. Перспективы совместной разработки вакуумного оборудования МГТУ им. Н.Э. Баумана и АО НПО «Спецэлектромеханика». С.П.Бычков, Л.Л.Колесник, Ю.В.Панфилов ,*Ю.М. Сарапулов, *М.С. Сиротский. ФГБОУ ВО МГТУ им Н.Э. Баумана, Москва, * АО НПО «Спецэлектромеханика», Брянск.
  5. Управление частотной характеристикой демпфера для активной виброизоляции на основе магнитореологических эластомеров. А.М.Базиненков, И.В.Макеев, А.П.Ротарь, Д.А.Иванова, В.П.Михайлов. Москва, ФГБОУ ВО МГТУ им. Н.Э.Баумана, Москва.
  6. Рентгеновская трубка для ионизации газов. Е.П. Шешин, ФГАОУ ВО «Московский физико-технический институт (государственный университет)», г. Долгопрудный.
  7. Стенд для исследования процессов, происходящих при отказах вакуумных механизмов. Р. О.Емельяненко, Е. Р. Тютюкин, Е.А. Деулин. ФГБОУ ВО МГТУ им.Н.Э. Баумана, Москва.
  8. Результаты исследований газовыделений из слюды. С.А.Бушин. Москва, ФГУП «Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики
    им.  Н.Л. Духова», Москва.
  9. Разработка конструкций сверхвысоковакуумных прогреваемых крупногабаритных коммутационных устройств повышенной надёжности герметизации. А.Е.Вязовецкова, В.В.Вязовецков. НИЦ «Курчатовский институт», Москва.
  10. Моделирование течения газа в проточной части комбинированного турбомолекулярного насоса с дисковой ступенью. Ю.А.Шостак, Н.К.Никулин. ФГБОУ ВО МГТУ им. Н. Э. Баумана, Москва.
  11. Моделирование течения многокомпонентного газа через систему нитей различной температуры. А.Н. Якунчиков, В.В. Косьянчук. Механико-математический ф-т МГУ им. М.В.Ломоносова, Москва, Институт механики МГУ им. М.В.Ломоносова, Москва, Институт машиноведения им. А.А. Благонравова РАН, Москва.
  12. Моделирование течения разреженного газа в устройствах с быстро осциллирующими элементами. В.В. Косьянчук, А.Н. Якунчиков. Механико-математический ф-т МГУ им. М.В.Ломоносова, Москва, Институт механики МГУ им. М.В.Ломоносова, Москва, Институт машиноведения им. А.А. Благонравова РАН, Москва.

 

24 апреля. 14:00
Секция 2. Новые технологии формирования тонких пленок. Методики и исследования. Технологическое оборудование.

  1. О возможностях новой технологии минеральных покрытий для повышения износостойкости металлической поверхности при создании деталей вакуумной техники. А.В.Сказочкин,* Г.Г.Бондаренко,** С.В.Кислов. Калужский филиал Российской академии народного хозяйства и государственной службы при Президенте Российской Федерации, Калуга, *МИЭМ НИУ «Высшая школа экономики», Москва, **ООО «Научно-производственный центр «Технологии минеральных покрытий», Москва.
  2. Изучение эпитаксиального соответствия карбида кремния на кремнии. В.К.Егоров, *Е.В.Егоров, **С.А.Кукушкин, **А.В.Осипов. ИПТМ РАН, Черноголовка, Московская область, *РУДН, Москва, **ИПМ РАН, Санкт-Петербург.
  3. Разработка инверсных интегрированных покрытий с использованием фотонно-кристаллической структуры. Е.Н.Галаганова, Е.В.Панфилова. ФГБОУ ВО МГТУ им. Н.Э. Баумана, Москва.
  4. Исследование технологических и конструктивных особенностей мемристоров, изготовленных магнетронным распылением. А.В.Мороз, Н.И.Сушенцов. Поволжский государственный технологический университет, Йошкар-Ола.
  5. Исследование оптических характеристик тонких пленок диоксида титана, полученных методом магнетронного распыления. Н.И. Сушенцов, С.А Степанов, Д.Е. Шашин. Поволжский государственный технологический университет, г.Йошкар-Ола.
  6. Синтез и структура нанопорошков, керамики и тонких слоев на основе системы      ZnO-C. А.Х.Абдуев, А.К.Ахмедов, А.Ш.Асваров, *К.Ш.Рабаданов. Институт физики Дагестанского научного центра РАН, Махачкала, *Аналитический центр коллективного пользования ДНЦ РАН, Махачкала.
  7. Формирование структурSiC/Si методом замещения атомов и их использование для роста III-нитридов. А.В.Редьков, А.В.Осипов, С.А.Кукушкин. ИПМаш РАН, Санкт-Петербург.
  8. Исследование влияния толщины тонкопленочного слоя MoS2 на износостойкость покрытия системы TiC-MoS2. В.В.Петров, А.И.Беликов, Е.А.Ивченко. ФГБОУ ВО МГТУ им. Н.Э.Баумана, Москва.
  9. Источник электронов для установки исследования вторичной эмиссии. А.Н. Козлов. Москва.
  10. Системы питания высокомощных импульсных магнетронов распыления HIPIMS. В.С.Мачикин. ООО «ПЛАЗМА-ТЕХ». Москва.
  11. Оптическая спектроскопия полупроводниковых пленок MoS2. А.И.Беликов, Чжо Зин Пьо, А.И.Семочкин. ФГБОУ ВО МГТУ им. Н.Э.Баумана, Москва.
  12. Модернизация магнитной системы жидкофазного магнетрона для повышения мощности разряда. А.А.Храмова, А.Р.Матанин, Д.А.Полин, Д.Д.Васильев, К.М.Моисеев. ФГБОУ ВО МГТУ им. Н.Э.Баумана, Москва.

25 апреля. 10:00
Секция 3. Нанотехнология и биотехнология

  1. Тонкопленочные технологии формирования электродных материалов для химических источников тока (ХИТ) и сверхъёмких  конденсаторных структур (СКС). В.В.Слепцов, Д.Ю. Кукушкин, А.О.Дителева. МАИ, Москва.
  2. Результаты экспериментальных исследований влияния различных по составу электродных структур на характеристики преобразователя и ПАВ устройства в целом. А.Т.Гарифулина, А.С.Груздев, Т.В.Синицына, *А.С.Багдасарян. ООО “БУТИС”, Москва, *Институт радиотехники и электроники РАН им. В.А.Котельникова, Москва.
  3. ПАВ-устройства на термокомпенсированных пластинах. Проблемы и перспективы. С.С.Дорофеева, Т.В.Синицына, *А.С.Багдасарян. ООО “БУТИС”, Москва, *Институт радиотехники и электроники РАН им. В.А.Котельникова, Москва.
  4. Исследование морфологии поверхности и контактных свойств пленок политетрафторэтилена, осажденных на поверхности трековой мембраны в вакууме. Л.И.Кравец, *Р.В.Гайнутдинов, **А.Б.Гильман, **М.Ю. Яблоков, ***V. Satulu, ***B.Mitu, ***G.Dinescu. Объединенный институт ядерных исследований, Дубна,  *ФНИЦ «Кристаллография и фотоника», Москва, ** Институт синтетических полимерных материалов им. Н.СЕниколоповаРАН, Москва, *** National Institute for Laser, Plasma and Radiation Physics, Bucharest.
  5. Осаждение на поверхности трековой мембраны наноразмерных пленок сверхвысокомолекулярного полиэтилена методом электронно-лучевого диспергирования. Л.И.Кравец, Н.Е.Лизунов, *М.А.Ярмоленко, *А.А.Рогачев, **Р.В.Гайнутдинов, ***М.Ю.Яблоков. Объединенный институт ядерных исследований, Дубна, *Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины, Гомель, **ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН, Москва, *** Институт синтетических полимерных материалов им. Н.С. Ениколопова РАН, Москва.
  6. Формирование нанокомпозитов на основе опаловых матриц. А.Ф.Белянин, *В.В.Борисов, **,***А.С.Багдасарян, ****Г.В.Чучева, *****Б.В.Хлопов. АО ЦНИТИ “Техномаш”, Москва, *НИИ ЯФ им. Д.В. Скобельцына, Москва, **НПП “Технологии радиочастотной идентификации и связи”, Москва, *** Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Москва, **** Фрязинский филиал института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Фрязино Московской области, *****Центральный научно-исследовательский радиотехнический институт им. академика А.И. Берга, Москва.
  7. Защитные наноструктурированные пленки нитридов металлов (TiN, ZrN, AlN) и углеродных материалов. С.А.Налимов, *С.А.Багдасарян, **А.И.Юрин, ***В.В.Борисов. АО ЦНИТИ “Техномаш”, Москва,*НПП “Технологии радиочастотной идентификации и связи”, Москва, ** Московский институт электроники и математики НИУ ВШЭ, Москва, ***НИИ ЯФ им. Д.В.Скобельцына, Москва.
  8. PECVD оборудование для нанесения Si3N4 – SiO2. А.А.Ясюнас, Е.А.Хохлов, А.С.Мысливец, В.Я.Ширипов, ООО «Изовак», Минск.
  9. Системы автоматического оптического контроля для стабильного производства оптических структур с числом слоев до 150 в согласованном стеке. А.А.Турбан, А.М.Артамонов, Е.А.Хохлов, А.С.Мысливец. ООО «Изовак», Минск.
  10. Вакуумное оборудование компании «ООО Изовак» для оптических применений основанное на технологии ионно-лучевого нанесения. Е.А. Хохлов, А.А. Турбан, А.М. Артамонов,  А.С. Мысливец. ООО «Изовак», Минск.
  11. Опыт эксплуатации установки наращивания синтезированных нанослоев на оптическом производстве ООО «Изовак Технологии». Е.А. Хохлов, А.А. Турбан, А.М. Артамонов,  А.С. Мысливец. ООО «Изовак», Минск.
  12. Исследование процесса формирования плёнок, полученных в матричном режиме с помощью НЧ-плазматрона атмосферного давления. А.В.Шведов, А.Н.Лямин, В.М.Елинсон. МАИ (НИУ), Москва.
  13. Исследование параметров рельефа наноструктурированных фторуглеродных покрытий, сформированных из плазмообразующей смесиC4F8+C6H12на полиэтилентерефталате. В.М.Елинсон, П.А.Щур, О.А.Сильницкая. МАИ (НИУ), Москва.
  14. Сравнительный анализ поверхностного заряда фторсодержащих пленок, сформированных при использовании газовых смесей CF4+C6H12 и C4F8+C6H12 на полиэтилентерефталате.  П.А. Щур, А.Т. Галлямова, В.М. Елинсон. МАИ (НИУ), Москва.
  15. Контактные и адгезионные свойства пленок полиэтилентерефталата, модифицированных в разряде постоянного тока. М.С.Пискарев, А.Б.Гильман, А.С.Кечекьян, А.А.Кузнецов. ИСПМ им. Н.С. Ениколопова РАН, Москва.

25 апреля. 13:00
Презентации оборудования и технологий

  1. Разработка критически-важных видов вакуумно-технологического оборудования для полупроводниковых технологий как основа национальной безопасности страны. С.И.Петров. ЗАО «НТО».
  2. Презентация нового прибора – серия гелиевых течеискателей Phoenix quadro от Leybold GmbH: демонстрация прибора, описание конструктивных изменений, новые возможности прибора, новые модели. Е.В.Блохин, А.Ахлестин. ООО «Лейфикон Вакуум Сервис».
  3. Методика расчета вакуумных систем в компании Лейфикон Вакуум Сервис, реализованный в общедоступный бесплатный сервис расчета вакуумных систем. Рассказ о математической модели, принятых допущениях, пределах применения сервиса. – Е.В. Блохин, А.О. Ахлестин ООО «Лейфикон Вакуум Сервис»
  4. Последние разработки ВТО в ГК ИЗОВАК и состояние отрасли в регионе ЮВА по итогам 2017 г. В.Я.Ширипов. ООО  «ИЗОВАК», Минск .

 

25 апреля. 15:00
Секция 4. Вакуумные технологии и аэрокосмический комплекс

  1. Определение работоспособности теплоприёмника суммарного теплового потока ФОА-020 после длительного хранения.  А.Ю.Кочетков, Е.В.Шеметова. АО "НПО им. С.А. Лавочкина", г. Химки.
  2. Экспериментальное исследование геометрических характеристик монодисперсных гранул. В.Б.Анкудинов, Ю.А.Марухин, В.П.Огородников, В.А.Рыжков. Московский энергетический институт (НИУ «МЭИ»), Москва.
  3. Задача имитации солнечного излучения при проведении тепловакуумных испытаний с крупногабаритными имитаторами Солнца и способы её решения. С.Б.Нестеров, А.А.Филатов, Российское научно-техническое вакуумное общество им. академика С.А.Векшинского, Москва.

25 апреля. 16:00
Секция 5. Вакуумно-левитационные транспортные системы

  1. Аэродинамическое сопротивление движению скоростного поезда в вакуумной трубе. С.Б. Нестеров, А.И. Холопкин, Р.О. Кондратенко. Российское научно-техническое вакуумное общество им. академика С.А.Векшинского, Москва.
  2. Международные транспортные коридоры как основа для грузовой версии вакуумно-левитационной транспортной системы. Р.О.Кондратенко, *С.В.Семенов, С.Б.Нестеров, А.И.Холопкин, **Е.Н.Капустин. РНТВО им. академика С.А.Векшинского. Москва,  *ООО "Криомаш-БЗКМ", Балашиха, **АО «Вакууммаш», Казань.
  3. Высокоскоростные транспортные коридоры  как  один  из  механизмов  реализации  национальной идеи  России. В.В.Филимонов, 1Г.Г.Малинецкий, 1В.С.Смолин, 2В.Г.Шавров, 2В.В.Коледов, 2С.В.Фонгратовски, 3К.Л.Ковалёв, 3Р.И.Ильясов, 3В.Н.Полтавец, 4П.В.Куренков,  5П.В.Крюков, 5А.В.Алфимов, 5Д.А.Карпухин, 6Б.В.Дроздов, 7В.С.Кропошин,  7М.Ю.Семёнов, 7Н.А.Нижельский, 8В.А.Соломин, 2Д.А.Суслов, 8В.А. Богачёв, 9В.М.Фомин, 9Д.Г.Наливайченко, 10Т.В.Богачёв, 11Ю.А.Терентьев. НПО «АСТ», 1ИПМ им. М.В.Келдыша РАН, 2ИРЭ им. В.А.Котельникова РАН ,3МАИ , 4МИИТ, 5Эксперт, 6 НИИ ИАТ, 7МГТУ им. Н.Э.Баумана, 8РГУПС, 9ИТПМ им. С.А.Христиановича СО РАН, 10РГЭУ (РИНХ),
    11Независимый эксперт.