Предложение участника: гелиевый масс-спектрометрический течеискатель МС-4 от компании «НПФ «Прогресс

участник в фокусе

Чувствительность в прямотоке / в противотоке - 5,0х10-13 / 7,0х10-12 м3Па/сек. В настоящее время масс-спектрометрические течеискатели всех производителей имеют примерно одинаковые характеристики с точки зрения чувствительности по гелию, и отличаются рабочим диапазоном давлений на входном фланце при полной производительности вакуумных агрегатов (без дросселирования), интерфейсом управления и программными алгоритмами.

Предложение участника: гелиевый масс-спектрометрический течеискатель МС-4 от компании «НПФ «Прогресс»
Отличительной особенностью гелиевых масс-спектрометрических течеискателей серии МС, выпускаемых научно-производственной фирмой «Прогресс», является применение высоковакуумного насоса гибридного типа (ВНГТ-5, ВНГТ-150), разработанного производителем (патент на изобретение 2490519) и уникального контроллера управления ВНГТ, поддерживающего точность установки скорости вращения ротора на уровне 0,5%.

При возможности установки скорости вращения от 1 до 90 тыс. об./мин., оптимальной выбрана скорость вращения ротора ВНГТ равная 20/26 тыс. об./мин. для ВНГТ-5/ ВНГТ-150 соответственно. При этой скорости обеспечивается необходимое для безопасной работы катода масс-спектрометра разрежение в камере анализатора и относительно медленное удаление гелия из области ионизации. В свою очередь увеличение времени нахождения Не(Гелия) в камере анализатора повышает вероятность ионизации и, как следствие, приводит к увеличению тока пучка ионов пробного вещества, что с одной стороны существенно увеличивает чувствительность масс-спектрометра (до 5,0х10-13 м3 Па/с), и, с другой, позволяет снизить ток эмиссии катода до величины 15 мкА (!).
Такой малый ток эмиссии обеспечивает ресурс вольфрамового прямонакального катода, применяемого в течеискателе, до 1000 часов при максимальной стабильности эмиссионных характеристик в течение всего срока службы и минимальных шумах вакуумной системы. При этом, применение осцилляций электронного тока в камере ионизации масс-спектрометра повышает эффективную плотность тока электронов до 1000 А/см2 , что при энергии ионизации 130 эВ обеспечивает максимальный фактор ионизации гелия.

Проточная часть ВНГТ рассчитана таким образом, чтобы обеспечить высокую «прозрачность» для обратного потока гелия при работе течеискателя в режиме противоток. Чувствительность течеискателя при работе в противотоке достигает 5,0х10-12 м3Па/с. Однако, при этом создается достаточно большая компрессия по более тяжелым газам и ВНГТ обеспечивает безопасное для катода давление в камере анализатора при давлении на выпускном фланце до 10 000 Па.

Указанное обстоятельство позволяет проводить контроль герметичности объектов, имеющих значительные дефекты вакуумной плотности, а также применять высокопоточные щупы-пробоотборники. Применение таких щупов существенно снижает время регистрации течи.

Приглашаем специалистов посетить стенд компании «НПФ «Прогресс» на выставке VacuumTechExpo 2020.
Чтобы получить билет на выставку, пройдите по ссылке 

Присоединяйтесь к нашему списку подписчиков, чтобы получать последние новости выставки и специальные предложения.