06 марта 2025 новость В 2024-2025 специалисты «САВТЭК» разработали серию установок для термической обработки и диффузии примесей. Одна из таких установок - Двухтрубная горизонтальная печь осаждения слоев из газовой фазы при пониженном давлении FALCON 25. Применяется в процессах: термического отжига, химического осаждения из газовой фазы (LPCVD, MOCVD) поликристаллического кремния Si3N4, эпитаксии, низкотемпературного оксидирования (LTO), термического окисления SiO2, диффузии, процессов TEOS, POCl3, TCA, выращивания графитовых нанотрубок, осаждения молекулярных слоёв. Конструкция печей обеспечивает высокую производительность при небольших размерах установки, низкую стоимость эксплуатации при высокой гибкости технологических процессов. Такие печи широко применяются на микроэлектронных предприятиях России для обработки пластин диаметром 100, 150 и 200 мм при атмосферном или пониженном давлении и температуре до 1150 °С. Ознакомиться с новинками компании «САВТЭК» вы сможете на выставке VacuumTechExpo-2025, которая пройдет с 1 по 3 апреля в ЦВК «Экспоцентр», стенд A223.