12 марта 2025 новость На выставке VacuumTechExpo компания «Ист Вакуум» представит новые изделия торговой марки «Reborn», являющееся аналогами активных вакуумных преобразователей компании MKS. 1. Магнитный электроразрядный преобразователь (с холодным катодом) RBL-503C Этот преобразователь является аналогом датчика MKS (Granville-Phillips) с инвертированным магнетроном серии 903. Преобразователь с холодным катодом RBL-503C предназначен для измерения давления в диапазоне от 3×10-10 до 5×10-3 Торр (4×10-8 до 6,7×10-1 Па). Его быстрый отклик и широкий диапазон измерений обеспечивают разработчикам оборудования максимальную гибкость. Преобразователь может работать автоматически как часть системы управления и подходит для различных функций, включая мониторинг системы и подачу аварийных сигналов. Преобразователь имеет разную чувствительность к различным газам, что можно использовать для обнаружения течей в вакуумных системах. Используется конструкция с инвертированным магнетроном, обеспечивающая более воспроизводимые результаты измерений и не оказывающая влияния на низковольтные компоненты системы. Чувствительный элемент преобразователя допускает очистку, что существенно продлевает срок его службы. 2. Тензорезистивный преобразователь RBY-902 Этот преобразователь является аналогом датчика MKS (Granville-Phillips) серии 902B (без дисплея). Тензорезистивный преобразователь RBY-902 имеет диапазон измерения вакуумметрического давления от 0,1 до 1000 Торр. Давление измеряется на основе механической деформации кремниевой мембраны. Результаты измерения не зависят от состава и концентрации газа. Преобразователь имеет три реле управления внешними устройствами. Аналоговый выходной сигнал по напряжению может быть подключен к внешнему аналоговому устройству для считывания значения давления или контроля. Преобразователь оснащен независимой схемой температурной компенсации первичного датчика, что обеспечивает высокую точность измерений в широком диапазоне температур. Преобразователь может устанавливаться в произвольной ориентации, прост в установке. 3. Комбинированный вакуумный преобразователь RBF-910 (тензорезистивный + Пирани) Этот датчик является аналогом датчика MKS (Granville-Phillips) серии 901P. Диапазон измерений комбинированного преобразователя давления RBF-910 составляет: от 1 × 10-5 до 1500 Торр. Это изделие содержит пьезорезистивный датчик абсолютного давления и тепловой вакуумный датчик микро-Пирани. Принцип действия датчика основан на измерении давления на основе теплопроводности газа и механической деформации кремниевой мембраны. Преобразователь имеет три реле управления внешними устройствами с малым временем отклика, срабатывающих по заданным контрольным точкам. Это позволяет обеспечить надежное управление технологическим процессом. Преобразователь оснащен активным независимым датчиком температурной компенсации, обеспечивающим точные измерения в широком диапазоне температур. Монтажная ориентация – произвольная, на точность измерений не влияет. Преобразователь имеет два аналоговых выхода. Их можно использовать в качестве альтернативных выходов, для разделения диапазона измерений, или для имитации другого типа датчика. Подробнее о наличии, стоимости и технических характеристиках преобразователей можно узнать на стенде компании «Ист Вакуум» А229 на выставке VacuumTechExpo-2025, 1-3 апреля, во втором зале павильона №5 ЦВК «Экспоцентр».