+7 (495) 252-11-07

← К списку новостей

Компания «Фриджи» примет участие в выставке VacuumCryoTech

12 марта 2026

Компания «Фриджи» представит источник индукционного разряда для удаленной плазменной обработки Mollis RPS для технологии микроэлектроники на выставке VacuumCryoTech-2026.

Mollis RPS – высокочастотный источник индукционного разряда, предназначенный для радикальной обработки, травления, осаждения, удаления фоторезистивных материалов в микроэлектронном производстве. Источник позволяет обрабатывать даже самые чувствительные образцы без повреждения частицами плазмы. Скорость обработки достигается за счет высокой концентрации активных радикалов. Источник обеспечивает генерацию низкотемпературной газоразрядной плазмы низкого давления с концентрацией электронов 10¹⁰–10¹³ см^-3 в диапазоне давлений 10-100 Па.

Основные достоинства:

Низкая энергий электронов и ионов плазмы (T_e < 5 эВ; T_i< 0,15 эВ);
Высокая степень диссоциации технологических газов (более 90%);
Компактное исполнение со встроенной автоматизированной высокочастотной системой питания;
Разрядная система источника плазмы выполнена из керамики или кварца (в конструкции устройства отсутствуют силиконовые и другие виды заливочных компаундов).

«Фриджи» представит оборудование на выставке VacuumCryoTech на стенде А517.

Приглашаем специалистов, заинтересованных в приобретении вакуумного и криогенного оборудования, получить бесплатный электронный билет по промокоду news26.

Получите билет

12 марта 2026