Встречайте НИИТМ на VacuumCryoTech

АО НИИТМ (ГК «Элемент», MOEX:ELMT), ведущий российский разработчик и производитель специального технологического оборудования для микроэлектронной отрасли, примет участие в выставке VacuumCryoTech!

Предприятие разрабатывает и изготавливает широкий спектр промышленного и исследовательского технологического оборудования – установки и кластерные комплексы на их основе для обработки пластин диаметром до 300 мм по направлениям:

• плазмохимического травления;
• осаждения из газовой фазы;
• физического нанесения;
• выращивания эпитаксиальных структур;
• газотермической обработки.

НИИ точного машиностроения проводит целый ряд перспективных разработок в рамках реализации комплексной программы «Развитие электронного машиностроения до 2030 года». Среди ключевых проектов НИИТМ сегодня: оборудование для проведения процессов химического осаждения из газовой фазы (одна установка - для осаждения вольфрама, вторая - SiO2/SiON/SiONGe); оборудование ионной имплантации и установка высокотемпературной активации примеси. В 2026 году дан старт разработке кластерного комплекса нанесения слоев алюминиевой металлизации методом вакуумного напыления на пластинах диаметром 200 мм. Работы проводятся при поддержке Минпромторга России в тесной кооперации с АО «НИИМЭ» (ГК «Элемент», MOEX:ELMT).

С 28 по 30 апреля специалисты компании будут ждать вас на стенде А315, чтобы рассказать о текущих проектах, проконсультировать по всем направлениям разработки оборудования НИИТМ для микроэлектроники и ответить на ваши вопросы.
 
Выставку можно посетить бесплатно, получив электронный билет по промокоду news26.

Получите билет