Оборудование Лаборатории вакуумных технологий (Beams&Plasmas) – производителя и разработчика импортозамещающей продукции —будет представлено на 12-й Международной выставке вакуумной техники, материалов и технологий VacuumTechExpo 2017, с 11 по 13 апреля на стенде А225.

Компания представит новинки: плазмохимическую установку НИКА-2014 ПХТ, установку магнетронного напыления НИКА-13 ПР-С, цифровые вакуумные датчики ВТРЦ-ДТВ01 и ВТРЦ-ПМТ, ВМЦ и другое оборудование.

НИКА-2013 - полноценная промышленная машина с большой загрузкой, сухой откачкой, быстрой перезагрузкой.

Назначение: напыление резистивных слоев, ионная очистка и травление; нанесение толстых металлических слоёв методом термовакуумного испарения в магнетронном разряде. Для нанесения слоёв сложного состава.

Состав установки: Камера O700х500 мм, до 4 магнетронов, нагреватель, ионный источник.

Возможность установки дополнительного оборудования.

Загрузка: 136 подложек 60х48 или 48 круглых подложек O100.

3 модификации: резистивные слои РС, проводящие слои ПС (напыление), магнетронное

осаждение/травление МО/МТ (плазмохимия).

НИКА-2014 - шлюзовая плазмохимическая установка для процессов травления или осаждения в среде высокоплотной плазмы. Применима при травлении микроструктур в полупроводниковом производстве, MEMS технологии, оптике.

Состав установки: камера O350х300 мм, генератор плазмы РПГ-250, охлаждаемый/нагреваемый стол с гелиевым теплоотводом, магнитная система.

Сухая откачка. 2 модификации: плазмохимическое травление (ПХТ)/плазмохимическое осаждение (ПХО).

Цифровые низковакуумные и высоковакуумные датчики собственного производства (Beams&Plasmas) с улучшенными характеристиками используются для замены вакуумметров типа Мерадат, 13ВТ-003 и ВМБ-8 (ВМБ-14) и ламп ПММ-32-1, ПМТ-6. Вакуумметры Beams&Plasmas устраняют наводки на аналоговые цепи, отличаются высокой точностью измерений.

«Лаборатория вакуумных технологий» (Beams&Plasmas, Зеленоград) — российская компания — производитель и разработчик импортозамещающей продукции: серийных установок для нанесения металлических покрытий широкого спектра, вакуумных технологических устройств. Модернизация любого вакуумного оборудования и его создание по параметрам Заказчика.

Посетите стенд компании А255 с 11 по 13 апреля 2017 года в КВЦ «Сокольники», 2 павильон.

Для бесплатного посещения выставки получите электронный билет>>>