14-я Международная выставка вакуумного оборудования
16 – 18 апреля 2019 Россия, Москва, КВЦ «Сокольники», павильон 4

ConFlat компоненты и вакуумные камеры для ультравысокого (UHV) и крайне высокого вакуума (XHV)

новость
Необходимость в наиболее чистом и качественном вакууме стоит в настоящее время не только перед производственными процессами, но и научными исследованиями , например в области ускорения частиц и литографии (EUV). Однако создание условий для получения и поддержания UHV и XHV вакуума связано с большими финансовыми и энергетическими затратами.

Проводя сравнение качественных харакеристик легированной стали и алюминия, можно установить, что благодаря его многообещающим свойствам, именно алюминию принадлежит будущее в области изготовления вакуумных камер для UHV и XHV.

Именно по этой причине фирма VACOM включила в стандартную программу производства вакуумные компоненты и камеры из алюминия, соотвествующие стандарту ConFlat.
При этом изготовление CF- арматуры проводится по нормам DIN исключительно из легированного алюминия.
Преимуществом такого выбора является прежде всего магнитная проницаемость всего продукта, не превышающая µr = 1,00002 .
Важным является и тот факт, что общий вес деталей состаляет лишь 1/3 веса аналогичных продуктов  из стали.

Механическая прочность алюминия из 6ххх-ой серии сплавов достаточна для изготовления уплотняющего выступа по типу ConFlat.
Благодаря этому все изготавливаемые VACOM СF-компоненты,  в комбинации с уплотнениями из алюминия или отожженной меди, предназначены для многократного  применения.