новость
Компания ООО «Дана Инжиниринг» в рамках конкурса «Лучший инновационный продукт в сфере высоких технологий» представит разработанную инженерами-конструкторами компании вакуумную напылительную установку Kurchatov.
Установка ориентирована для использования на серийном и крупносерийном производстве. Данная установка построена по принципу in line: последовательное расположение загрузочной, шлюзовой и технологических камер. Ключевой особенностью данной установки является размещение технологических устройств на боковых стенках вакуумной камеры в специальных откидывающихся отсеках, при котором значительно упрощается смена мишеней и обслуживание технологических устройств. Подложки располагаются на плоском подложкодержателе, который линейно перемещается в технологической камере. Установка состоит из модулей: технологические и вспомогательные камеры набираются в зависимости от технологии производства и производительности.
Преимущества
-
Высокая производительность
-
Все элементы вакуумной системы изготовлены из немагнитной нержавеющей стали марок 12Х18Н10Т/AISI321, 08Х18Н10/ AISI304
-
Поверхности, обращённые к вакууму, обработаны до шероховатости Ra0,8, что гарантирует минимальную дегазацию и, как следствие, сниженное время откачки
-
Возможность использования нескольких технологических устройств: магнетрон, вакуумно-дуговой испаритель, ионный источник
-
Гибкость при модернизации установки
-
Использование безмасляных средств откачки
-
Многоканальный контроль равномерности напыления и состава плазмы
В установках платформы Kurchatov используются магнетроны, вакуумно-дуговые испарители и ионные источники протяжённой геометрии. Катоды технологических устройств выполняются как плоскими, так и цилиндрическими.
Предусмотрен нагрев подложек на всём пути их следования: от шлюзовой камеры до конца технологической.
Габариты вакуумной камеры зависят от размера зоны равномерности напыления на подложку. В зависимости от размеров технологических устройств выбираются способы контроля и управления равномерностью напыления.
Наносимые покрытия: металлы, оксиды, нитриды, карбиды. Также возможно распыление ферромагнетиков магнетронами с усиленной магнитной системой.
Области применения
-
машиностроение
-
декоративное производство
-
приборостроение
-
оптика
-
микроэлектроника
Более подробную информацию о данной вакуумной напылительной установке Вы сможете узнать у нас на стенде А209 компании ООО «Дана Ининиринг» в рамках выставки ВакуумТехЭкспо 2019.