Обновленная линейка вакуумных установок Ника-2013 ПСО и МТ от участника выставки

новость

ООО «Лаборатория вакуумных технологий» (Beams&Plasmas) сообщает об обновлении линейки установок. Спроектирована и собрана новая версия установок 13-й серии: Ника 2013-500 — малогабаритная промышленная установка большой производительности с горизонтальной камерой. Установка возможна в двух модификациях — МТ для магнетронного травления проводящих и диэлектрических слоёв и ПСО для напыления многослойных покрытий на охлаждаемую подложку.

ника.jpg

Установка занимает в плане 3 м2 (1600х1600х1900 мм, 800 кг). Машина имеет цилиндрическую камеру с горизонтальной осью из нержавеющей стали Ø500х500 мм с рубашкой охлаждения. Система откачки - безмасляная (криогенный или турбомолекулярный насос, сухой спиральный насос). Задний фланец: четыре позиции ISO63 для технологических устройств: до трёх магнетронов, ионный источник или генератор плазмы. Устройства напыление оснащены автоматическими заслонками. Загрузка: 15 прямоугольных подложек 60x48 мм либо 10 круглых диаметром 100 мм.
«Лаборатория вакуумных технологий» (Beams&Plasmas, Зеленоград) разрабатывает и производит серийные установки широкого спектра применения, а также обширную линейку вакуумных технологических устройств. Возможна модернизация любого вакуумного оборудования и его создание по параметрам Заказчика.

Для бесплатного посещения выставки получите электронный билет>>>

Присоединяйтесь к нашему списку подписчиков, чтобы получать последние новости выставки и специальные предложения.